Im Bereich der Lithografie weiß man ja, wie schon eine Abweichung von nur 2°C im Prozessprofil die Homogenität der CD-Struktur beeinträchtigen kann – dadurch müssen die Wafer erneut bearbeitet werden. Man braucht also eine Heizung, deren Temperatur im gesamten Prozesszyklus konstant bleibt. Die SK15-Infrarotlampe für Waferöfen ist genau dafür konzipiert.
Was wirklich wichtig ist Die SK15 nutzt einen Kurzwellen-Infrarotstrahler, der darauf ausgelegt ist, Energie direkt in den Photoresistent und die Wafer zu übertragen. Die Reaktionszeit beträgt nur Millisekunden – somit erreicht der Ofen schnell die gewünschte Temperatur und hält sie mit einer Genauigkeit von ±0,1°C bei. Die Kompatibilität mit Reinräumen wird ebenfalls berücksichtigt: Die verwendeten Materialien entsprechen den Anforderungen der Klasse 1–100, es entstehen keine Partikel bei Betriebstemperaturen, und die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit einer Intensitätsabweichung von weniger als 5%. Die Leistungsdichte passt sich an die thermischen Anforderungen des Waferofens an. Zudem passt die Abmessung der Lampe in die üblichen Montagesysteme sowie elektrischen Anschlüsse.
Warum sie in der Produktion gut funktioniert Das Trocknen der Wafer, die Weichbrenn- und Härtebrennprozesse sind alle temperaturempfindliche Schritte. Durch die gleichmäßige Strahlung der SK15 wird eine Ungleichverteilung der Temperatur reduziert – das wiederum hilft dabei, die Qualität der Produkte zu verbessern. Die Zeit bis zum Erreichen der gewünschten Temperatur wird verkürzt, ohne dass die Kontrolle über den Prozessverlauf beeinträchtigt wird. Der Energieverbrauch sinkt, da die Energie genau dort verwendet wird, wo sie benötigt wird – nicht dazu, den Raum selbst aufzuheizen. Das Ergebnis ist eine bessere Kontrolle der kritischen Abmessungen, weniger Ausschussware sowie planbare Wartungsintervalle.
Auf was man achten muss Die SK15 benötigt eine passende Reflektorgeometrie sowie eine saubere, trockene Versorgungsspannung. Wenn die Luftzufuhr im Ofen oder die Temperaturregelung nicht richtig eingestellt sind, kann es zu einem thermischen Austritt kommen. Planen Sie daher eine Kalibrierung bereits beim ersten Wartungstermin ein. Stellen Sie außerdem sicher, dass der Ofencontroller mit den Eigenschaften der Lampe umgehen kann. Wenn all diese Bedingungen erfüllt sind, funktioniert die Lampe zuverlässig.