Energieeffiziente Halbleiterheizung
Warum wir auf Infrarottechnologie für bleifreie Chips umsteigen
Wer schon Erfahrung mit dem Trocknen und Aushärten von Halbleitern hat, kennt die...
Heizelement für LPCVD Ofen
In der Fertigungshalle zeigt sich die thermische Drift im LPCVD-Ofen niemals als plötzlicher Defekt. Stattdessen zeigt sie sich in einem...
Zonales Heizsystem für fortschrittliche Wafernfabriken
Im Bereich der Lithografie ist die Temperatur nicht einfach nur ein weiterer Parameter – sie ist vielmehr ein entscheidender Bestandteil des...