Cessez de chauffer votre machine et commencez plutôt à chauffer la tranche de silicium elle-même.
Si vous avez déjà travaillé avec des tranches de semi-conducteurs, vous connaissez les difficultés liées à ce processus. Il est nécessaire que la tranche soit chaude, mais on ne veut pas que le reste de l’équipement coûteux se transforme en un énorme radiateur.
La plupart des chauffages par rayonnement normaux dispersent simplement la chaleur partout. Ils transforment les parois intérieures en dissipateurs de chaleur, gaspillent beaucoup d’énergie, et, pire encore, rendent l’enveloppe extérieure du matériel suffisamment chaude pour brûler l’opérateur. C’est vraiment un problème.
Voici comment nous résolvons ce problème.
Nous utilisons des lampes à infrarouges à ondes courtes. Au lieu de tenter de chauffer l’air (ce qui est lent et inefficace), ces lampes dirigeent l’énergie directement vers la surface à chauffer. Nous utilisons des réflecteurs spéciaux ainsi que des enveloppes en quartz pour maintenir cette énergie concentrée. En somme, la chaleur atteint exactement l’endroit où elle doit aller : la tranche de silicium. Le châssis, quant à lui, reste hors de portée de la chaleur.
Pourquoi cela est important pour votre travail
Lorsque nous choisissons ces lampes, nous cherchons à obtenir une forte densité thermique dans un espace très restreint. Comme les ondes infrarouges à ondes courtes pénètrent rapidement dans le matériau, les temps d’accélération de la température sont considérablement réduits. De plus, comme l’énergie est concentrée, il n’y a plus besoin de lutter contre l’accumulation de chaleur à l’intérieur de l’appareil. L’ambiance devient donc plus fraîche.
Le petit inconvénient (car il y en a toujours un)
Ce n’est pas de la magie : c’est de la physique. Comme l’énergie est très concentrée, il y a un risque de chaleur intense locale. Il faut donc s’assurer que le matériau puisse supporter un tel changement de température rapide, sinon on risque des fissures ou des déformations. De plus, si vos contrôleurs PID ne sont pas ajustés en fonction de la vitesse de réaction de ces lampes, vous risquez de dépasser la température cible. Il faut être précis.
Nous avons conçu ces systèmes pour qu’ils puissent remplacer facilement les anciens systèmes de chauffage encombrants. En passant à ces nouveaux systèmes, les systèmes de refroidissement de votre usine n’ont plus besoin de travailler autant. Et votre équipe de maintenance ? Elle vous remerciera de ne pas rendre l’appareil dangereux à manipuler.