על גבי המשטח החלקלק, צעד אחד לא זהיר יכול לפגוע באיכות המוצר. מיד לאחר הניקוי, סימני מים ולחות שנשארו אינם רק בעיית אסתטיקה – הם גם גורמים להתקשרות לא אחידה של חומר הפוטורזיסט למשטח. ייבוש באמצעות מגע? זה יגרום לשריטות ולהעברה של חלקיקים. התוצאה היא וופרים פגומים וממדים לא אחידים.
מה חשוב באמת? יצרנו את מכשיר הייבוש הלא-מגעי על בסיס מקור אינפרא-אדום בגלים קצרים. הוא מחמם את הוופר בצורה מהירה ואחידה, כך שפני השטח של הוופר נשארים ללא פגע. המדד החשוב הוא האחידות התרמית – ±0.1°C בכל שטח הוופר. זה לא מספר שרירותי – אנו משיגים זאת באמצעות בקרה אוטומטית שמווסתת את החום בזמן אמת. המכשיר תואם לתנאי חדר נקי מסוג Class 1; אין בו חלקים נעים באזור הייבוש, ומערכת הסינון מונעת הצטברות של חלקיקים. האחידות בתהליך הייבוש היא 0.2°C, מה שמאפשר שליטה טובה יותר בממדים של הוופר.
זו הסיבה שהמכשיר עובד היטב גם במפעלים עם מגוון רחב של חומרים: הוא עובד באופן זהה בוופרים בעובי 300 ממ ו-200 ממ, וגם על שכבות אוקסיד, ניטריד ומתכת. הפעולה ללא מגע מונעת שריטות ומקטינה את השחיקה של החלקים. התגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן הייבוש, כך שניתן להגדיל את הקצב הייצורי מבלי לפגוע באיכות. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהמנורה מחממת רק את הוופר עצמו, ולא את החלקים הסובבים אותו. התוצאה היא פחות פגמים בבדיקות, שליטה טובה יותר בתהליך, ולוחות זמנים אמינים.
כמה הערות פרקטיות: המנורה דורשת מקור אנרגיה נקי ומסונן, וכן מים לקירור בעלי ערך חום יציב, כדי לשמור על טמפרטורה אחידה. ניתן לשלב את המכשיר בקלות ברוב המערכות, אך יש לוודא שהמסלול האופטי מאוזן ברמה של 0.5 ממ, כדי לשמור על האחידות. לפני השימוש, יש לבצע בדיקה מהירה כדי לוודא שהמכשיר מתאים לסוג הוופר שלכם.