מגן זכוכית קוורץ לנורת ייצור

בשלב הליתוגרפיה, שינוי קטן של 0.5°C בטמפרטורת האור שמשמש לעיבוד החומרים הפוטורזיסטיביים יכול לגרום לכך שרוחב הקווים שנוצרים יסטה מהערכים הרצויים....