נורת חימום להסרת לחות מהוופרים

בתהליך הליתוגרפיה, לחות בחומר הפוטורזיסט או באוקסיד שעל הוופר אינה עניין של מה בכך. היא משבשת את הבקרה על הטמפרטורה, מפריעה לתהליך החשיפה, וגורמת לכך...