
चीजों को विस्फोट से बचाना: MEMS वेफरों को सुरक्षित रूप से सुखाना
वास्तविकता यह है कि रासायनिक सफाई के बाद MEMS सेंसर वेफरों को सुखाना, आग से खेलने जैसा ही है। वहाँ ऊष्मा उत्पन्न करने वाले उपकरण, विस्फोटक पदार्थों के धुएँ के ठीक बगल में ही होते हैं। ऐसी स्थिति में सामान्य इन्फ्रारेड लैंप का उपयोग करना बहुत ही जोखिम भरा है।
इसीलिए हम ऐसी सुरक्षा व्यवस्थाओं पर ध्यान देते हैं… हम लैंप के चारों ओर एक “किला” बनाते हैं, ताकि कोई आपदा न हो।
लीकेज़ को रोकना
उन हानिकारक गैसों को विद्युत टर्मिनलों से दूर रखने हेतु, हम इन्फ्रारेड लैंप को विशेष काँच या रासायनिक रूप से प्रतिरोधी क्वार्ट्ज से बने कवर में रखते हैं… यह एक सरल भौतिक सुरक्षा व्यवस्था है।
फिर हम सिरेमिक-मेटल सील या उच्च तापमान वाले एपॉक्सी से उस कवर को सील कर देते हैं। ऐसा क्यों किया जाता है? क्योंकि यदि सील टूट जाए, तो विस्फोटक गैसें विद्युत टर्मिनलों तक पहुँच जाएँगी… ऐसी स्थिति में बहुत ही खतरनाक स्थिति पैदा हो जाएगी। हम इन लीकेज़ों को रोकने हेतु बहुत मेहनत करते हैं।
ऊष्मा, चिंगारियाँ एवं वायरिंग
हम शॉर्टवेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग करते हैं… क्योंकि यह अधिक प्रभावी है। यह तकनीक ऊष्मा को सीधे वेफर की सतह पर ही पहुँचाती है… न कि उसके आसपास की हवा को गर्म करती है। इससे वातावरण का तापमान, सफाई एजेंटों के विस्फोटक बिंदु से काफी नीचे रहता है।
हम वायरिंग के मामले में भी सावधान रहते हैं… हम PTFE या PFA जैकेटों का उपयोग करते हैं… क्योंकि सामान्य PVC तो पिघल जाएगा, जिससे तार खुल जाएँगे… ऐसा करना बहुत ही जोखिम भरा है।
एक छोटी सी सलाह: अपनी एक्जॉस्ट सिस्टम की जाँच जरूर करें… क्योंकि भले ही सुरक्षा व्यवस्था अच्छी हो, लेकिन वहाँ भी विस्फोटक गैसें जमा हो सकती हैं… हवा को लगातार चलता रखें।
उत्पाद को सुरक्षित रखना
इस सुरक्षा व्यवस्था का सबसे अच्छा पहलू यह है कि यह फिलामेंट को रासायनिक प्रभावों से बचाती है… इससे लैंपों का जीवनकाल बढ़ जाता है। हम मजबूत कनेक्टरों का भी उपयोग करते हैं… क्योंकि वेफरों को ले जाने की प्रक्रिया में कनेक्टर हिल सकते हैं… और हम ऐसी स्थितियों से बचना चाहते हैं।
ये कनेक्टर आसानी से बदले जा सकते हैं… लेकिन ध्यान रखें कि हर बार कनेक्टर बदलने के बाद उसकी सील की जाँच जरूर करें… यदि सील में कोई दरार हो, तो सुरक्षा व्यवस्था टूट जाएगी।
हमें वॉटेज के मामले में भी सावधान रहना होता है… अधिक ऊष्मा से सील टूट सकती है… इसलिए हम वॉटेज को संतुलित रखते हैं… ताकि सील टूटे नहीं। यह सब गति एवं सुरक्षा के बीच संतुलन बनाने के बारे में है।