लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” केवल कुछ चरण ही नहीं हैं; बल्कि ये ऐसी प्रक्रियाएँ हैं जिनका पालन अवश्य किया जाना आवश्यक है। फोटोरेसिस्ट के तापमान में 2°C का बदलाव भी किसी महत्वपूर्ण आयाम को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है। गर्मी देने के दौरान निकलने वाला एक ही कण भी 300 मिमी आकार के वेफर को नष्ट कर सकता है। इसी वास्तविकता को ध्यान में रखकर हमने मॉड्यूलर इन्फ्रारेड हीटिंग एरे विकसित किया है।
तकनीकी दृष्टि से क्या महत्वपूर्ण है?
हम मॉड्यूलर एरे में नियर-इन्फ्रारेड एमिटरों का उपयोग करते हैं; इससे ऊर्जा घनत्व को विशिष्ट क्षेत्रों में ही नियंत्रित किया जा सकता है। इसका परिणाम यह है कि प्रक्रिया के दौरान वेफर का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है। इसकी जाँच थर्मोकपलों के माध्यम से की जाती है, एवं इन्फ्रारेड एमिटरों की क्षमता को भी ध्यान में रखा जाता है।
प्रतिक्रिया समय कुछ ही सेकंड में होता है; इसलिए रेसिपी बदलने पर भी तापमान में कोई बदलाव नहीं होता। यह हार्डवेयर क्लास 1 स्तर की स्वच्छता मानकों के अनुरूप है – इसमें सील्ड हाउसिंग, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, एवं खुले तार नहीं हैं। कणों का उत्पादन कम ही होता है, एवं बंद-लूप नियंत्रण एवं निश्चित एमिटर ज्यामिति के कारण प्रक्रिया की पुनरावृत्ति संभव है।
यह प्रक्रिया लाइन पर क्यों कारगर है?
फोटोरेसिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया में तापमान की सटीकता आवश्यक है, ताकि आवश्यक आयाम प्राप्त किए जा सकें। साथ ही, दोषों की संख्या को कम रखने हेतु स्वच्छता भी आवश्यक है। हमारा एरे आपको ये दोनों ही फायदे देता है।
तेज़ तापमान संतुलन से प्रक्रिया में बदलाव करने का समय कम हो जाता है, एवं लाइन स्थिर रहती है। ऊर्जा की खपत भी कम हो जाती है, क्योंकि नियर-इन्फ्रारेड रश्मियाँ सीधे ही वेफर को गर्म करती हैं, न कि आसपास के भागों को। इसकी विश्वसनीयता 24/7 संचालन हेतु उपयुक्त है, एवं मॉड्यूलर डिज़ाइन के कारण आप आवश्यकता पड़ने पर कंपोनेंटों को आसानी से बदल सकते हैं, बिना अनप्लान्ड डाउनटाइम के।
व्यावहारिक विवरण
यह एरे मानक यांत्रिक एवं विद्युत इंटरफेसों के माध्यम से मौजूदा प्रणालियों ile जुड़ सकता है। फिर भी, प्रत्येक रेसिस्ट स्टैक एवं वेफर आकार के लिए एलाइनमेंट एवं एमिसिविटी सेटिंगों को ठीक करना आवश्यक है।
बेक प्रोफाइल को ठीक करने एवं नियंत्रण सीमाओं को निर्धारित करने हेतु कम समय ही आवश्यक है। ऐसा करने के बाद, प्रक्रिया स्थिर रहती है – कोई बदलाव नहीं होता।