लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान लैंप का तापमान सिर्फ 0.5°C ही बदल जाने से भी वाइंडथ में विचलन हो सकता है; ऐसी स्थिति में...

लिथोग्राफी प्रक्रिया में, तापमान केवल एक मापदंड ही नहीं है – बल्कि यही प्रक्रिया का मूल है। सॉफ्ट बेक के दौरान 2°C का अंतर भी फोटोरेजिस्ट की मोटाई को...