लिथोग्राफी प्रक्रिया में, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान लैंप का तापमान सिर्फ 0.5°C ही बदल जाने से भी वाइंडथ में विचलन हो सकता है; ऐसी स्थिति में वे वेफरों को निरीक्षण हेतु अलग रख दिया जाता है। हमने फैक्ट्री के लैंपों के लिए क्वार्ट्ज ग्लास से बना शील्ड बनाया है, ताकि ऐसा विचलन ही न हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम स्थिर ट्रांसमिशन हेतु फ्यूज्ड क्वार्ट्ज का उपयोग करते हैं; क्योंकि यह छोटी-मध्यम तरंगदैर्घ्य वाली इन्फ्रारेड किरणों के लिए उपयुक्त है, एवं तेज तापमान पर भी इसका थर्मल विस्तार कम होता है। इससे वेफरों पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर। इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ हर बार एक जैसी ही रहती हैं। क्लीनरूम क्लास 1–100 में, ऐसी सामग्री का उपयोग किया जाता है, ताकि कोई कण भी न बने – न तो कोई खरोंच, न ही कोई अन्य अवशेष, जिससे दोषों की संख्या बढ़े। जोड़ों एवं सीलिंग संरचनाओं को ऐसे ही डिज़ाइन किया गया है कि वे 24/7 काम कर सकें, बिना किसी रोशनी रिसाव या गर्म बिंदुओं के।
यह फैक्ट्री में क्यों महत्वपूर्ण है?
फोटोरेजिस्ट प्रक्रिया में, पुनरावृत्ति संभव होना ही उत्पादन की दक्षता का मापदंड है। लैंप का आउटपुट स्थिर रहे, ताकि तापमान संबंधी विचलन न हो। इससे CD में विचलन कम होता है, एवं प्रक्रिया में दोष भी कम होते हैं। शील्ड से गर्मी उसी जगह रहती है, जहाँ उसे होना चाहिए; इससे प्रति बैच में ऊर्जा की खपत भी कम होती है। इससे अनप्लान्ड हस्तक्षेप भी कम हो जाते हैं, क्योंकि थर्मल विचलन फिर से नहीं होता।
किन बातों पर ध्यान देना आवश्यक है?
क्वार्ट्ज नाजुक होता है… इसे एक सटीक घटक के रूप में ही ही इस्तेमाल करें, न कि एक सामान्य सामग्री के रूप में। यांत्रिक झटकों से बचें, एवं लैंप को फिर से इकट्ठा करते समय टॉर्क एवं संरेखण संबंधी निर्देशों का पालन करें। संगतता, लैंप की संरचना, माउंटिंग हार्डवेयर, एवं मशीन के थर्मल प्रोफाइल पर निर्भर है। खरीदने से पहले, अपने उपकरणों एवं क्लीनरूम की आवश्यकताओं के अनुसार इसकी उपयुक्तता की जाँच अवश्य करें।