Mengapa kita beralih dari oven konvensional ke sistem pemanasan inframerah untuk pengolahan sensor
Saat ini, semua orang di industri semikonduktor membicarakan tentang konsep netralitas karbon. Namun, sejujurnya, hal tersebut sulit dicapai tanpa mengubah cara kerja mesin-mesin yang digunakan. Bagi kami, langkah terbaik adalah beralih dari oven konvensional ke sistem pemanasan inframerah untuk proses pengolahan sensor cerdas.
Alih-alih memanaskan seluruh ruangan logam dan udara di dalamnya, kita menggunakan lampu inframerah berpanjang gelombang pendek. Ini merupakan pendekatan yang lebih efisien. Panas dikirim langsung ke substrat yang akan diproses.
Ini jauh lebih efektif.
Sistem pemanasan konvensional sangat boros energi. Sebagian besar energi digunakan untuk memanaskan dinding kotak dan udara di sekitarnya. Sistem inframerah mengatasi masalah ini dengan menggunakan panjang gelombang yang tepat agar energi hanya digunakan untuk tujuan yang benar-benar diperlukan.
Hasilnya? Waktu yang diperlukan untuk memproses sensor berkurang drastis. Energi tidak lagi terbuang sia-sia saat mesin tidak aktif, sehingga penggunaan energi secara keseluruhan berkurang.
Namun, hal ini bukanlah solusi sempurna. Ada beberapa tantangan yang harus dihadapi. Untuk mencapai suhu yang diperlukan dalam waktu singkat, kita perlu menggunakan lampu kuarsa berdaya tinggi. Namun, panas yang dihasilkan bisa merambat ke bagian lain dari mesin jika tidak hati-hati. Jika sistem pendinginan tidak memadai, maka elektronik yang ada di dalam mesin akan rusak. Saya pernah melihat hal ini terjadi—sistem pendinginan yang tidak memadai menyebabkan sensor suhu menjadi tidak akurat, sehingga akurasi proses produksi pun menurun.
Namun, jika sistem pendinginan berfungsi dengan baik, dampak positifnya sangat besar terhadap biaya energi pabrik. Kami melihat penurunan signifikan pada konsumsi energi per wafer. Proses pemanasan yang membutuhkan waktu lama pun hilang. Ini merupakan solusi sederhana untuk berbagai tahap pengolahan, namun memberikan dua manfaat sekaligus: waktu proses menjadi lebih singkat, dan biaya listrik pun berkurang.
Inilah cara untuk meningkatkan kinerja lingkungan tanpa menghambat proses produksi.