Basta aspettare che l’aria calda faccia il suo lavoro: passiamo all’uso di lampade a raggi infrarossi senza ossido di azoto.
Per molto tempo, nel processo di lavorazione dei semiconduttori si è utilizzato l’aria calda per trasferire energia alle wafer. Si riscalda un grande volume d’aria, la si fa circolare e si spera che trasferisca abbastanza energia alla wafer stessa.
Il problema? È un metodo lento. C’è infatti un ritardo termico che riduce l’efficienza del processo.
Abbiamo trovato un modo migliore: utilizziamo lampade a raggi infrarossi senza ossido di azoto, così da evitare completamente l’uso dell’aria calda.
Energia diretta… senza intermediari.
Pensateci così: invece di aspettare che una ventola soffi aria calda su una superficie, le lampade a raggi infrarossi inviano radiazioni elettromagnetiche direttamente sul substrato. È immediato.
Il tempo necessario per riscaldare le wafer diminuisce da minuti a secondi. Quando si trattano 10.000 wafer, risparmiare soltanto 30 secondi per ciclo non è certo poco: rappresenta davvero un grande vantaggio dal punto di vista economico.
Ma cosa ne è dell’ossido di azoto?
Il problema con le lampade a raggi infrarossi tradizionali è che spesso producono ossido di azoto a causa della luce UV che emettono. In un ambiente pulito, l’ossido di azoto è davvero un problema: corrode le superfici e distrugge gli strati organici sensibili.
Per risolvere questo problema, le nostre lampade utilizzano filtri in quarzo e filamenti modificati per bloccare quelle lunghezze d’onda UV. Ottenete quindi tutto il calore desiderato, senza alcun effetto negativo.
I compromessi necessari
Non vi dirò che si tratta di una soluzione semplice da utilizzare… in realtà non lo è affatto. I raggi infrarossi hanno una direzione precisa; se i componenti hanno forme strane o angoli nascosti, ci saranno delle zone in cui la luce non potrà arrivare. Dovrete quindi pianificare attentamente la disposizione delle lampade e dei riflettori, per assicurarvi che tutto venga riscaldato uniformemente.
Inoltre, queste lampade richiedono molta energia. Assicuratevi che i cavi possano gestire tale carico energetico, altrimenti dovrete passare il pomeriggio a sistemare i interruttori.
Tuttavia, se cercate alta precisione e velocità, questa è senz’altro la soluzione migliore. Otterrete un riscaldamento più efficiente e cicli di lavorazione molto più rapidi. È semplicemente la scelta logica.