ウェーハを加熱する際に2℃もの温度変動があると、それは単なる誤差というだけではなく、製品の不良原因となります。フォトレジストの感度や線幅の精度、そして欠陥の発生率は、再現性があり均一な加熱が行われているかどうかに依存します。温度プロファイルにばらつきがあると、汚れや付着問題、または後工程で初めて気...

リソグラフィーの工程において、温度は単なるパラメーターではありません。それ自体が工程そのものなのです。ソフトベイク時に2°Cの変動があるだけで、フォトレジストの厚さが変わってしまいます。また、ハードベイク時にわずかでも温度が変動すると、重要な寸法の制御が崩れてしまいます。ウェーハは絶えず移動してお...