ウェーハ加熱時の安全距離

時間の無駄をやめましょう：ウェーハの加熱において、なぜIR加熱が強制送風より優れているのか もし今も半導体の深層加工に強制送風を使っているのであれば、実際には空気が仕事をこなすのを待っているだけです。 考えてみてください。強制送風の場合、まず空気を温めなければならず、その後でその熱をウェーハに伝え...