클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
만약 클래스 100 등급의 청정실을 운영하고 있다면, 그 과제가 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 조금이라도 먼지가 들어가면 전체 반도체 제품이 망가집니다. 문제는 대부분의 가열 요소들이 사실상 먼지를 만들어내는 원인이 된다는 점입니다. 가열되면 미세한 먼지 입자들이 배출됩니다.
우리는 이 문제를 해결하기 위해 단순하지만 고순도의 소재를 사용했습니다. 바로 석영 인파란등과 테플론(PTFE)으로 만들어진 전선입니다.
고순도 석영의 장점
우리는 등의 외장재로 융합 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 소재는 엄청난 열충격에도 견딜 수 있으며, 오염물질이 공기 중으로 유출되지 않기 때문입니다.
이러한 등들은 단파장 인파란 복사를 사용합니다. 웨이퍼 주변의 공기를 가열시켜서 먼지가 날아오르는 현상을 방지합니다. 그래서 훨씬 더 깨끗합니다.
왜 PTFE 전선을 사용하는가?
일반적인 PVC나 실리콘 전선은 열에 약합니다. 열에 의해 손상되거나 휘발성 유기화합물(VOCs)을 방출하여 작업을 망칠 수 있습니다. 반도체 제조 과정에서는 이런 것은 절대 용납될 수 없습니다.
그래서 우리는 테플론(PTFE)으로 코팅된 전선을 사용합니다. 이 소재는 화학적으로 안정적이어서 열에도 견딜 수 있습니다. 변질되거나 먼지가 생기지 않으며, 진공 상태나 청정실을 항상 깨끗하게 유지해줍니다.
설치 시 주의할 점
테플론은 실리콘보다 단단하기 때문에, 너무 세게 구부리면 전선이 손상될 수 있습니다. 전선에 충분한 여유 공간을 주어야 합니다.
또한, 냉각 시스템도 잘 관리해야 합니다. 인파란 복사의 세기가 매우 강하기 때문입니다. 석영 자체는 순수하지만, 그 열량은 매우 큽니다. 따라서 냉각 시스템의 크기를 적절히 설정해야 합니다. 너무 작으면 부품들이 변형될 수 있습니다. 더욱 심각한 것은, 열을 견디지 못해 등들이 일찍 고장날 수 있다는 점입니다.