글로브박스 적외선 히터 요소

리소그래피 베이에서 포토레지스트 소프트 베이크 시 0.5°C의 온도 변화만으로도 패턴 선폭이 규격에서 벗어날 수 있다. Class 1–100 라인을 운영하며, 각 사이클마다 입자 수, 온도 균일도, 반복성이 핵심이다. 글러브박스 히터가 설정값을 유지하지 못하면 웨이퍼...