반도체 히터용 서모커플

난방 챔버가 오븐처럼 변하는 것을 막으세요 만약 반도체 난방 챔버를 만들어본 적이 있다면, 그 과정이 얼마나 어려운지 잘 알 것입니다. 중요한 것은 웨이퍼를 원하는 온도까지 데우는 것이 아닙니다. 그건 비교적 쉬운 일입니다. 진짜 문제는 장비의 벽면이 너무 뜨거워져서...