웨이퍼 수분 제거용 히터 램프

웨이퍼 위의 포토레지스트나 천연 산화막에 함유된 수분은 단순한 학술적 문제가 아닙니다. 이러한 수분은 열 관리에 영향을 미치고, 노출량을 왜곡시키며, 치수 제어를 어렵게 만듭니다. 만약 가열 장치가 올바른 온도와 청결도를 유지할 수 없다면, 그로 인한 변동성은 소프트...