에너지 효율적인 웨이퍼 가열기

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 반도체 웨이퍼를 다룬 적이 있다면 그 어려움을 잘 알 것입니다. 웨이퍼는 따뜻해야 하지만, 값비싼 장비들까지 열원으로 사용하고 싶지는 않습니다. 일반적인 방사형 히터들은 열을 사방으로 퍼뜨립니다. 이로 인해 내부 벽...