Voorkomen dat dingen ontploffen: veilig drogen van MEMS-chips
De werkelijkheid is dat het drogen van MEMS-sensorchips na een chemische reiniging best gevaarlijk kan zijn. Er zitten namelijk verwarmingselementen vlak naast de dampen van oplosmiddelen – die, om het eerlijk te zeggen, explosief kunnen zijn. Je kunt niet zomaar een gewone infraroodlamp in deze omgeving gebruiken en hopen op het beste resultaat.
Daarom richten we ons op het ‘inpakken’ van de lampen. We maken in feite een soort ‘fort’ rondom de lamp, zodat deze geen ramp kan veroorzaken.
Het voorkomen van lekken
Om die gevaarlijke gassen weg te houden van de elektrische verbindingen, plaatsen we de infraroodlamp in een huls gemaakt van speciaal glas of chemisch bestendig kwarts. Dit vormt een fysieke barrière tegen de gassen. Vervolgens sluiten we de uiteinden af met keramische of hoogtemperatuurbestendige epoxymaterialen. Waarom al deze moeite doen? Omdat als er een lek optreedt, de gassen in contact komen met de geïnactiveerde contactpunten. Eén vonk is voldoende om grote problemen te veroorzaken. We besteden veel tijd aan het voorkomen van zulke lekken.
Hitte, vonken en bedrading
We gebruiken kortegolf-infraroodtechnologie, omdat dit efficiënter is. Hierdoor wordt de hitte rechtstreeks op het oppervlak van de chip geleid, in plaats van alleen de lucht eromheen te verhitten. Hierdoor blijft de omgevings Temperatuur ver onder het ontvlambaarheidspunt van de reinigingsmiddelen.
We gebruiken ook PTFE- of PFA-huiden om de bedrading te beschermen. Standaard PVC zou smelten of beschadigen, waardoor de draden bloot komen te liggen. Dat is een risico dat je niet wilt nemen.
Een snelle tip: Zorg ervoor dat je afvoersysteem goed werkt. Zelfs met de beste afsluiting kunnen er nog steeds plekken zijn waar oplosmiddelen zich ophopen. Houd de luchtcirculatie in stand.
Het behouden van de functionaliteit
Het grootste voordeel van deze afsluiting is dat deze de filaments beschermt tegen chemische invloeden. Hierdoor gaan de lampen langer mee. We gebruiken ook sterke aansluitingen, want de transportsystemen voor chips kunnen trillen. Dat mag natuurlijk niet gebeuren.
Deze aansluitingen zijn gemakkelijk te vervangen. Maar er is één belangrijk punt: je moet altijd controleren of de afsluiting nog goed functioneert wanneer je een lamp vervangt. Als er een scheur in de huls zit, is de veiligheid in gevaar.
We moeten ook goed opletten met de vermogenssterkte. Te hoge hitte concentratie versnelt het droogproces – wat goed is voor de productiecapaciteit – maar het zet ook meer druk op de afsluitingen. We proberen het vermogen zo in balans te brengen dat de afsluitingen niet beschadigen. Het gaat erom die perfecte balans tussen snelheid en veiligheid te vinden.