Op de ondergrond van de wafer wordt een verschil van 2°C tijdens het zachte bakken niet alleen gezien als een afwijking – het leidt zelfs tot schade aan de wafer. De gevoeligheid van de fotoresist, de vereiste dikte van de lijnen en de toegestane defecten hangen allemaal af van een constante en gelijkmatige temperatuur. Wanneer het thermische profiel niet constant is, ontstaan er problemen als ongewenste effecten op het oppervlak van de wafer, problemen met de hechting van de laagjes, en oneffenheden die pas later in het proces worden opgemerkt.
Wat belangrijk is achter de schermen We bouwen maatwerk-infraroodverwarmers die zijn ontworpen om rekening te houden met de specifieke eisen van het bewerken van wafers. We kiezen voor kortegolfformaat of middenwegsgolfformaat om de benodigde temperatuur te bereiken. Het doel is om een gelijkmatige temperatuur over de hele oppervlakte van de wafer te behouden, binnen een grens van ±0,1°C. Hierdoor blijft de temperatuur binnen de gewenste grenzen. De nauwkeurigheid van de temperatuur wordt bereikt dankzij gekalibreerde sensoren en stabiele emissoren. De apparaten zijn geschikt voor gebruik in cleanrooms van klasse 1–100. Ze hebben kwartskernen of keramische componenten en zijn zo ontworpen dat er geen stofontwikkeling optreedt. De vermogensdichtheid wordt aangepast aan de behoeften van het apparaat en de spanning. De connectors passen bij de bestaande apparatuur, zodat de integratie gemakkelijk verloopt.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie Deze precisie zorgt voor minder herwerkingen en een betere controle op de cruciale dimensies. Zowel het zachte als het harde bakken verloopt stabiel, met minder variatie in de randen van de wafer en minder resten. De energieverbruik neemt af omdat de verwarmers snel de gewenste temperatuur bereiken en daarna stil kunnen staan. De betrouwbaarheid van de apparaten is hoog, zodat ze 24/7 kunnen werken. De levensduur van de emissoren is lang, waardoor er nauwelijks onderhoud nodig is. Het resultaat is een consistente opbrengst en minimaal aantal fouten.
Wat je van tevoren moet regelen Deze verwarmers zijn specifiek ontworpen voor bepaalde apparaten. Daarom moeten de installatie, de grootte van de openingen en de manier waarop het licht wordt geleid worden aangepast aan de geometrie van de ruimte. Het is belangrijk om rekening te houden met de afstand tot de optische componenten en sensoren. Er zal een korte testperiode nodig zijn om de PID-instellingen te optimaliseren en te controleren of de temperatuur gelijkmatig verdeeld is over de wafer. Als dit goed is geregeld, blijft het thermische profiel stabiel. Maar deze eerste instellingen maken deel uit van de installatie, en geen latere aanpassing.