Op de lithografieafdeling weet je dat een kleine afwijking van maar 2°C in de temperatuur van het gebakproces al kan leiden tot ongelijkmatigheden in de kwaliteit van de CD’s. Hierdoor moeten de wafer’s opnieuw worden verwerkt. Er is dus behoefte aan een constante temperatuur, cyclus na cyclus. De SK15-infraroodlamp is speciaal ontworpen om dit te bereiken.
Wat belangrijk is achter de schermen
De SK15 maakt gebruik van een infraroodemitter met kortegolfstraling, die bedoeld is om energie rechtstreeks over te dragen naar de fotoresist en de wafer. De reactietijd is maar enkele milliseconden, zodat de oven snel op de gewenste temperatuur komt en deze behoudt met een stabiliteit van ±0,1°C per batch. De compatibiliteit met schone werkomgevingen is ook belangrijk: de lamp voldoet aan de normen voor klasse 1–100. Er wordt geen stof gegenereerd bij de werktemperatuur, en de prestaties blijven consistent gedurende meer dan 5.000 uur, met een intensiteitsafwijking van minder dan 5%. De vermogensdichtheid is afgestemd op de thermische behoeften van de waferoven, en de lamp past gemakkelijk in standaardmontages en elektrische interfaces.
Waarom de SK15 zo goed werkt
Het drogen van wafer’s, het zacht baken van de fotoresist en het hard baken zijn allemaal stappen die gevoelig zijn voor temperatuursveranderingen. De gelijkmatige straling van de SK15 verminderd de verschillen tussen de randen en het midden van de wafer, waardoor de kwaliteit van de producten verbetert. De tijd die nodig is om de gewenste temperatuur te bereiken, is korter, zonder dat de controle over het proces verloren gaat. Het energieverbruik neemt af, omdat de energie alleen naar waar het nodig is gaat – namelijk naar de wafer – en niet wordt gebruikt om de kamer op te warmen. Het resultaat is betere controle over de kritieke dimensies, minder afvalproducten en planbare onderhoudsintervallen.
Wat je moet letten op
De SK15 heeft een reflector nodig die goed past bij de lamp, en een schone, droge voedingsspanning. Als de luchtcirculatie in de oven of de temperatuurfeedback niet goed is ingesteld, kan dit leiden tot een thermisch probleem. Plan een kalibratie tijdens het eerste preventieve onderhoudsschema. Zorg er ook voor dat de ovencontroller het vermogen van de lamp aankan. Als deze punten goed worden geregeld, zal de lamp consequent goed functioneren.