Stop met het opwarmen van de machine en begin in plaats daarvan het wafer op te warmen
De meeste infraroodlampen werken nogal chaotisch. Ze stralen hitte in alle richtingen uit – letterlijk een straal van 360 graden. Als je binnenin een krappe halfgeleiderapparaat werkt, is dat een nachtmerrie.
Je verspilt dan veel energie aan het opwarmen van de binnenwanden van de machine, in plaats van het wafer. Het gevolg? Een chassis dat te heet is om aan te raken en een koelsysteem dat wanhopig hulp nodig heeft.
We hebben een betere manier gevonden: gerichte infraroodtechnologie.
De hitte op de juiste plek brengen
Stel je voor dat het verschil is tussen een lamp en een zaklamp. In plaats van de hitte overal naartoe te laten gaan, gebruiken we interne reflectoren en speciale coatings om de energie naar één punt te sturen.
Zo hoef je de lucht niet meer op te warmen. Je bereikt alleen het werkstuk. Het is veel efficiënter.
Omgaan met de natte gebieden
Wasstations zijn per definitie nat. En water en elektriciteit gaan niet goed samen. Als een gewone kwartsbuis in contact komt met water, zal deze meestal kapotgaan.
Om dit op te lossen, hebben we onze lampen uitgerust met sterke waterdichte sluitingen. Hierdoor blijft de vochtigheid ver weg van de elektroden. Bovendien zijn ze bestand tegen constante temperatuurschommelingen zonder te barsten of te slijten.
Een snelle check van de dekking
Hier is het probleem: precisie heeft zijn prijs. Omdat deze lampen de hitte op één punt concentreren, krijg je geen breed, gelijkmatig warmtepatroon zoals bij een gewone buis. Als je proces een breed, gelijkmatig warmtepatroon vereist, kun je niet zomaar één lamp vervangen door een andere. Je moet een aantal lampen gebruiken met overlappende stralen om de juiste dekking te bereiken.
Alles koel houden (en veilig houden)
Als je je apparaat niet meer als oven gebruikt, wordt alles eenvoudiger. Je operators hoeven zich geen zorgen te maken over verbrande panelen, en je hoeft ook geen rekening te houden met noodstops vanwege te hoge temperaturen.
Je krijgt de benodigde hittedichtheid voor het wassen, maar de machine blijft beheersbaar. Combineer ze met een goede PID-regelaar, zodat de oppervlaktetemperaturen precies op het gewenste niveau blijven.