Dlaczego lampy IR pokryte złotem są naprawdę ważne dla Waszych płytek krzemowych
Podczas obróbki płytek krzemowych półprzewodnikowych temperatura to tylko połowa układanki. Prawdziwym sekretem jest gęstość prądu przepływu. W gruncie rzeczy chodzi o to, ile ciepła faktycznie trafia na powierzchnię, a ile po prostu znika wewnątrz maszyny. Wtedy właśnie przychodzą na pomoc lampy podczerwone pokryte złotem. Zapobiegają one wyciekowi energii do obudowy i kierują ją dokładnie tam, gdzie jest potrzebna: na płytkę krzemową. Sekret złota Pomyślcie o zwykłej lampie kwarcowej. Ona emituje ciepło we wszystkich kierunkach – w pełnych 360 stopniach. W urządzeniu do obróbki płytek oznacza to marnowanie połowy energii na powietrze i ścianki. Rozwiązujemy to, nakładając cienką warstwę złota z tyłu kwarcu. Działa ona jak wysokiej jakości lustrko, odbijając ponad 98% tego promieniowania podczerwonego do przodu. Jaki jest efekt? Efektywnie podwajasz intensywność na docelowej powierzchni, nie pobierając więcej mocy z zasilania. Otrzymujesz po prostu więcej watów na centymetr kwadratowy na płytkę. To tak proste. Krótka uwaga na temat ciepła Jest jednak jeden haczyk. Lampy o dużej mocy stają się niezwykle gorące. Ponieważ złoto koncentruje całą tę energię, sam rurka kwarcowa odczuwa większe obciążenie. Jeśli wasz system chłodzenia ledwo sobie radzi, ta dodatkowa gęstość ciepła może stanowić problem. Nie chcecie mieć do czynienia z przegrzanym filamentem lub deformowanymi elementami montażowymi z powodu niewystarczającego przepływu powietrza. Zanim je zamontujecie, sprawdźcie dokładnie specyfikacje przepływu powietrza. Uchroni was to przed ogromnymi problemami później. Więcej efektów z procesu Zazwyczaj używa się ich do procesów utwardzania i szybkiej obróbki termicznej (RTP). Celem jest szybkie podniesienie temperatury, aby uniknąć niepożądanej dyfuzji domieszek. Reflektory ze złota umożliwiają osiągnięcie docelowych temperatur znacznie szybciej. Ponadto można zmniejszyć rozmiar układu grzewczego, zachowując przy tym tę samą moc. Jeśli napięcie i moc lamp odpowiadają waszemu obecнемu zasilaniu, są to praktycznie idealne zamienniki. To świetny sposób na zwiększenie wydajności bez konieczności demontażu i przebudowy całej komory termicznej.