Pare de deixar falhas na lâmpada estragarem seus lotes de wafers.
Imagine este cenário terrível: você está realizando um processo de cura por radiação infravermelha em alta carga, e um tubo de quartzo explode. Isso não é apenas um pequeno problema de paralisação do processo. Há cacos de vidro e filamentos de tungstênio caindo diretamente sobre os wafers. Em questão de segundos, todo o seu lote fica inutilizável.
É um desastre… Mas isso pode ser completamente evitado.
Nós resolvemos esse problema ao adicionar uma estrutura refletora dedicada. Pense nela como um escudo de segurança físico que fica entre a lâmpada e os wafers.
Como funciona na prática
A maioria das pessoas acha que os refletores servem apenas para direcionar a radiação infravermelha de volta para o substrato. Claro, eles fazem isso. Mas nós projetamos essa estrutura para envolver completamente a lâmpada.
Se um tubo explodir, o refletor capta os detritos, impedindo que eles entrem na câmara de processamento. Em vez de um desastre, você simplesmente tem um problema fácil de resolver. Sem cacos de vidro, sem wafers danificados.
Mais calor, menos estresse
Usamos alumínio de alta pureza, com um revestimento especial, para refletir as ondas infravermelhas curtas. O melhor de tudo é que isso aumenta a densidade de calor na superfície dos wafers. Como o calor é mais concentrado, é possível reduzir a potência da lâmpada sem perder a eficácia do processo de cura. Quando a lâmpada não precisa ficar tão quente, há menos estresse no quartzo. Isso significa que a lâmpada tem muito menos chances de explodir.
Os custos de implementação
Nada é perfeito. Adicionar uma camada física entre a fonte de luz e o alvo muda um pouco o padrão de radiação, comparado a uma lâmpada sem essa camada. Você precisará gastar algum tempo calibrando a distância focal para garantir que o aquecimento seja uniforme em todo o waffer. Além disso, preste atenção nos ventiladores de resfriamento. Se eles não forem adequados para a estrutura do refletor, o calor pode se acumular dentro da estrutura, reduzindo a vida útil da lâmpada.
Mas, uma vez que tudo estiver configurado corretamente, tudo fica bem simples.
Nós fabricamos essas estruturas para uso contínuo, 24 horas por dia. Basta conectá-las, configurar os controladores PID e deixar o refletor cuidar do resto. Assim, um falha catastrófica se torna algo simples de resolver.