Forno para sala limpa com aquecedor infravermelho
Por que você deve parar de aquecer o ar em sua sala limpa Se você ainda utiliza fornos de ar forçado para o processamento de semicondutores, na...
Elemento de aquecimento do forno semicondutor
Na prática, a deriva térmica não se manifesta em sinais de néon. Ela simplesmente “rouba” o controle da espessura da camada fotolítica, reduzindo a...
Lâmpada infravermelha SK15 para forno de wafers
Na área de litografia, sabe-se que um pequeno desvio no perfil de aquecimento, de apenas 2°C, pode afetar a uniformidade dos CDs e fazer com que as...