Fazendo com que o aquecimento por infravermelho de alta pureza funcione de fato em uma fábrica inteligente
Construir uma fábrica inteligente não se trata apenas de softwares sofisticados. É preciso também hardware capaz de interagir efetivamente com a camada de dados do sistema. No que diz respeito ao aquecimento e ao processamento, é aí que entram as lâmpadas de infravermelho de alta pureza. Criamos essas lâmpadas para fornecer calor preciso, sem prejudicar o ambiente dos wafers.
Como o calor realmente se propaga
As lâmpadas UHP convertem eletricidade em radiação infravermelha de onda curta. Em vez de depender do ar para transmitir o calor, a energia atinge diretamente a superfície desejada. Isso torna o processo muito rápido. Você obtém tempos de aquecimento mais rápidos e um controle muito maior sobre a temperatura. Em um ambiente digital, isso significa que é possível sincronizar os ciclos de aquecimento até mesmo no nível de milissegundos.
Manter tudo limpo
Usamos quartzo sintético de alta pureza, pois a libertação de gases é um grande problema. Em uma sala limpa, uma pequena impureza no invólucro da lâmpada pode estragar todo um lote de wafers. Para evitar isso, colocamos os filamentos de tungstênio em um ciclo de halogênio. Isso impede que o quartzo escureça com o tempo, mantendo a luz ativa mesmo após uso prolongado.
Conectando tudo isso (e os riscos)
Para que esse sistema funcione em um ambiente Industrial 4.0, não basta simplesmente conectá-lo à rede elétrica. São necessários controladores PID de circuito fechado e pirômetros em tempo real. Assim, “calor” se torna “dados”: é possível saber exatamente qual é a quantidade de energia utilizada por cada wafer que passa pelo sistema.
Mas há um problema: as lâmpadas UHP de alta potência ficam extremamente quentes em um espaço pequeno. Se tentarmos colocar muitas delas juntas para acelerar o processo, os sistemas de refrigeração precisam ser eficientes. Se o resfriamento falhar, o invólucro de quartzo vai sofrer danos. É simples assim.
Por que usar infravermelho?
Esses sistemas ocupam pouco espaço e não possuem peças móveis. Isso os torna fáceis de conectar e ainda mais fáceis de substituir. Para os engenheiros, isso significa menos tempo de parada e um caminho mais suave para automatizar os processos de aquecimento nos módulos.