Fotorezistte veya wafer üzerindeki doğal oksitte bulunan nem, sadece teorik bir sorun değildir. Bu durum, termal dengenizi bozar, pozlama dozunu etkiler ve kritik boyutları belirsiz hale getirir. Eğer ısıtıcı lamba istenen sıcaklığı ve temizliği sağlayamıyorsa, bu değişkenlikler hem yumuşak pişirme hem de sert pişirme işlemleri sırasında devam eder ve waferle birlikte paketleme aşamasına kadar taşınır.
Önemli olan şeyler
Bu wafer nem giderme ısıtıcı lambasını, yüksek saflıkta kuvars kaplamalarda bulunan kısa dalga boylu kızılötesi halojen elemanları kullanarak ürettik. Böylece hızlı ve lokalized bir ısıtma sağlanır ve spektral kontrol de oldukça iyi olur. Aydınlatılan bölgedeki sıcaklık homojenliği ±0,1°C civarında kalır; binlerce pişirme döngüsü sonrasında da tekrarlanabilirlik ±0,5°C içinde kalır. Sistem, Class 1–100 temiz odalarda çalışır ve yerinde izleme ile hiçbir parçacık oluşmadığı doğrulanır. 5.000 saatlik süre sonunda bile çıktı stabil kalır ve sürekli kullanımda yoğunluk değişimi %5’in altındadır.
Litografi ve fotorezist işlemlerinde, lamba yumuşak pişirme işleminden önce nemle temas eder ve böylece sert pişirme işlemi için gerekli parametreler belirlenmiş olur. Bu sayede cilt etkisi azalır ve fotorezistin akışındaki tutarsızlıklar giderilir.
Elde edilen faydalar ölçülebilir: Kusur yoğunluğu azalır, CD kontrolü daha iyi hale gelir ve yeniden işleme gereksinimleri ortadan kalkar. Enerji tüketimi de azalır çünkü ısıtma sadece hedef alan için yapılır, odanın duvarları için değil. Filament tasarımı ve kontrollü termal stres sayesinde değiştirme aralıkları uzar; bu da yedek parça stoğunu azaltır ve bakım sürelerini kısaltır.
Kurulum, hizalama ve termal yönetimle ilgilidir. Optik hizalamayı doğru yapın ve bitişik polimerleri ve optik elemanları belirlenen standartlar dahilinde tutun.
Lamba, hedef yüzey odak düzleminde olduğunda düzgün şekilde çalışır. Eğer yüzey odak düzleminin dışında kalırsa, homojenlik bozulur. Kontrol cihazının sıcaklık geri beslemesini doğru şekilde yapabildiğinden emin olun ve güç kaynağı ile konektörlerin istasyonunuzun voltaj ve akım değerlerine uygun olduğundan emin olun. Film birikimini önlemek ve spektral çıktının tutarlı kalmasını sağlamak için periyodik kuvars kontrolleri yapılmalıdır.