Litografi işlemlerinde, sadece 2°C’lik bir sıcaklık değişikliğinin bile CD’lerin düzgünlüğünü bozabileceği ve wafların yeniden işlenmesini gerektirebileceği bilinir. Sürecin her adımında, sabit bir sıcaklık seviyesinin korunması gerekmektedir. SK15 kızılötesi lambası da tam olarak bunu sağlamak için tasarlanmıştır.
Önemli olan hususlar
SK15, doğrudan fotoresist ve waflara enerji aktarmak üzere ayarlanmış kısa dalga boylu kızılötesi ışık yayıcılarına sahiptir. Tepki süresi milisaniyeler içindedir; bu sayede fırın hızla belirlenen sıcaklığa ulaşır ve parti boyunca ±0.1°C hassasiyetle bu sıcaklığı korur. Temiz oda koşulları da göz ardı edilmemiştir: Sınıf 1–100 standartlarına uygun malzemeler, çalışma sıcaklıklarında hiçbir parçacık oluşmaması ve 5.000 saatten fazla kullanım sonrasında bile %5’ten daha az yoğunluk kaybı. Güç yoğunluğu, Wafer fırınının termal ihtiyaçlarına uygun şekilde ayarlanmıştır ve lambanın montajı standart arayüzlerle kolayca yapılabilir.
Neden bu lamba idealdir?
Waferlerin kurutulması, fotoresistin yumuşatılması ve sertleştirilmesi gibi işlemler hepsi termal olarak hassastır. SK15’in eşit ışınlanması, kenarlar ile merkez arasındaki farkları azaltarak üretim verimliliğini artırır. Isınma süreci daha hızlı gerçekleştiğinden, devir süresi kısalarak profil kontrolü bozulmaz. Enerji tüketimi de azalır; çünkü enerji doğru yere, yani hedefe yönlendirilir. Böylece daha iyi bir kritik boyut kontrolü sağlanır, atık miktarı azalır ve bakım periyotları daha rahat planlanabilir.
Dikkat edilmesi gerekenler
SK15’in uygun yansıtıcı geometrisine ve temiz, kuru bir güç kaynağına ihtiyacı vardır. Eğer fırının hava akışı veya sıcaklık geri bildirim döngüsü doğru şekilde ayarlanmamışsa, termal problemler ortaya çıkabilir. İlk periyodik bakım sırasında kalibrasyon yapılmalı ve fırın kontrol cihazının lambanın özelliklerini karşılayabilmesi sağlanmalıdır. Bu koşullar sağlandığında, lamba tutarlı bir şekilde çalışır.