Litografide sıcaklık, sadece bir parametre değildir; aslında işlemin kendisidir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile fotoresistin kalınlığını etkiler. Biraz olsun değişen sıcaklık değerleri ise kritik boyut kontrolünü bozar. Wafler sürekli hareket halindedir, fırınlar ise durmaz; bu yüzden termal denge çok hassastır.
Arka planda önemli olan şeyler
Bağımsız termal bölgeler oluşturarak ısıtma sistemleri geliştirdik. Amacımız, waferin büyük kısmını etkilemeden sadece sorunlu bölgeleri hedef almaktır. Kısa dalga boylu halojen elemanlar hızlı tepki verir ve kapalı döngü kontrolü sayesinde waferin tüm yüzeyinde sıcaklık değerleri ±0,1°C civarında tutulur.
Sistem, Class 1–100 temiz odalarda çalışır ve parça üretimini engelleyecek her türlü faktörden kaçınılır. Düşük gaz salınımı yapan malzemeler, mühürlü kuvars/keramik arayüzler ve düzenli hava akışı sayesinde uzun süreli pişirme işlemleri sırasında bile parça sayısı sabit kalır. Tekrarlanabilirlik çok önemlidir; her yumuşak ve sert pişirme işlemi aynı termal eğri üzerinde gerçekleşir.
Neden bu sistem gerçek üretim tesislerinde işe yarar?
Yüksek hacimli wafer üretimi yapılan tesislerde, bölgelere ayrılmış ısıtma sistemleri, termal değişkenlikleri kontrol edilebilir hale getirir. Fotoresist işlemleri yeterince stabil hale gelir, böylece atık miktarı ve yeniden işleme ihtiyacı azalır. Ayrıca bu sistem, enerji tüketimini de azaltır. Bileşenler 24/7 çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve planlı bakım periyotları sayesinde beklenmedik arızaların önüne geçilir.
Doğru sonuçlar elde etmek için ne yapmalısınız?
Bölgelere ayrılmış ısıtma sistemleri, termal haritanın waferin yapısına ve pişirme işlemlerine uyumlu olduğunda etkili olur. Bölge sayısını ve yerleşimini, waferin geometrisi ve işlem prosedürlerine göre planlayın. Ayrıca hava akışını ve egzoz yönlerini kontrol ederek temiz oda standartlarının korunmasını sağlayın.
Çoğu üretim platformunda bu sistemin uygulanması oldukça kolaydır. Ancak bir değişiklik yapmadan önce mekanik yapıyı ve bağlantı noktalarını mutlaka kontrol edin.