Litografide, fotoresistin pişirilmesi sırasında lambanın sıcaklığının sadece 0,5°C kadar değişmesi bile, çizgi genişliklerinin standartların dışına...

Litografide sıcaklık, sadece bir parametre değildir; aslında işlemin kendisidir. Yumuşak pişirme sırasında meydana gelen 2°C’lik bir değişiklik bile...