LPCVD fırını ısıtma elemanı
Üretim alanında, LPCVD fırınındaki termal değişiklikler asla ani arızalar olarak ortaya çıkmaz. Bunlar, tabakanın oluşum şeklindeki değişiklikler,...
Yarı iletken fırın ısıtma elemanı
İletkenlerde termal sürüklenme fenomeni, neon tabelalarda görülmez. Bu fenomen, çizgi genişliğinin kontrolünü bozar, verimliliği düşürür ve aslında...
Wafer fırını için SK15 kızılötesi lamba
Litografi işlemlerinde, sadece 2°C’lik bir sıcaklık değişikliğinin bile CD’lerin düzgünlüğünü bozabileceği ve wafların yeniden işlenmesini...