На поверхні кам’яної підлоги один лише вологий крок може зруйнувати всю процедуру обробки. Відразу після очищення сліди води та залишки вологи є не просто естетичною проблемою – вони створюють умови для утворення частинок та призводять до нерівномірного прилипання фоторезисту. Традиційне сушіння шляхом контакту? Це ризик появи подряпин та передачі частинок. Результатом є відхилення критичних розмірів пластин.
Що є важливим у цьому пристрої
Ми створили безконтактний сушар для пластин на основі джерела короткочастотного інфрачервоного випромінювання. Він нагріває поверхню пластини швидко та рівномірно, тож поверхня залишається неторканою. Важливою характеристикою є термічна однорідність – ±0,1°C по всій поверхні пластини. Це не просто цифра – ми досягаємо цього завдяки системі контролю з закритим циклом, яка відстежує втрати тепла та компенсує їх у реальному часі. Пристрій підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1; у зоні сушіння немає рухомих частин, а система відведення повітря забезпечує низьку кількість частинок у повітрі. Повторюваність результатів сушіння становить менше 0,2°C, що дозволяє контролювати розміри пластин.
Цей пристрій ідеально підходить для виробництва різних типів пластин – як з оксидними, так і з нітридними чи металевими шарами. Безконтактна робота запобігає появі мікроподряпин та скорочує термін сушіння. Швидка реакція пристрою на зміни температури дозволяє скоротити час сушіння, що дає можливість збільшити обсяг виробництва без перевищення температурних параметрів. Використання енергії зменшується, оскільки лампа нагріває саму пластину, а не навколишні елементи. Результатом є менше дефектів під час перевірки, більш точний контроль процесу та можливість планувати роботу з точністю.
Кілька практичних порад: лампі потрібне чисте та фільтроване живлення, а також стабільна температура охолоджувальної води для підтримки правильної температури оптичного елемента. Інтеграція пристрою у більшість пристроїв для обробки пластин є простою, але оптичний шлях має бути вирівняний з точністю до 0,5 мм для збереження однорідності. Перед використанням необхідно провести тестування для визначення точних параметрів пластини та перевірки її властивостей.