На лінії літографії навіть незначна зміна температури лампи на 0,5°C під час процесу висушування фотополімеру може призвести до того, що ширина ліній на пластинках не будети в межах допусків. Такі пластинки потім потрапляють на перевірку. Ми створили захисний екран з кварцового скла для ламп у фабриці, щоб запобігти таким змінам температури з самого початку.
Що є важливим при роботі обладнання
Ми використовуємо сплавлений кварц, який характеризується стабільною пропускною здатністю у короткохвильовому та середньохвильовому інфрачервоному діапазоні, а також низькою тепловою розширюваністю під час швидких змін температури. Це забезпечує стабільність температури на поверхні пластинок в межах ±0,1°C, тож процеси висушування можна повторювати з однаковими результатами щоразу. У чистих приміщеннях класу 1–100 матеріал та його обробка забезпечують відсутність будь-яких частинок – без відшарувань чи залишків газів, які можуть спричинити дефекти. З’єднання та геометрія ущільнень розроблені так, щоб обладнання могло працювати 24/7 без витоків світла чи „гарячих точок“.
Чому це важливо на фабриці
Під час обробки фотополімеру важлива повторюваність процесу. Якщо температура випромінювання лампи залишається стабільною, це дозволяє зменшити варіації параметрів та кількість необхідних корекцій. Це також дозволяє контролювати ширину ліній на пластинках. Захисний екран також забезпечує правильне розподілення тепла, що дозволяє зменшити споживання енергії. Крім того, це зменшує кількість непланових втручань, оскільки теплові зміни більше не впливають на процес.
На що потрібно звернути увагу
Кварц є крихким матеріалом. Його потрібно ставитися як до точного компонента, а не до матеріалу, який можна замінити. Слід уникати механічних ударів та дотримуватися специфікацій щодо крутного моменту та правильного розташування лампи під час її складання. Сумісність залежить від геометрії лампи, кріплення та теплового профілю конкретного обладнання. Перед закупівлею необхідно переконатися, що лампа підійде до вашого обладнання та умов чистих приміщень.