
وقت ضائع کرنا بند کریں: ویفروں کی پروسیسنگ کے لئے IR حرارتی نظام، فورسڈ ایر سسٹم سے بہتر کیوں ہے؟
اگر آپ اب بھی سیمی کنڈکٹرز کی پروسیسنگ کے لئے فورسڈ ایر سسٹم کا استعمال کر رہے ہیں، تو دراصل آپ ہوا کے کام مکمل کرنے کا انتظار کر رہے ہیں۔
سوچیں، فورسڈ ایر سسٹم میں پہلے ہوا کو گرم کرنا پڑتا ہے، پھر اس گرمی کو ویفر تک پہنچانا پڑتا ہے۔ یہ ایک درمیانی عمل ہے، جس سے وقت ضائع ہوتا ہے۔
IR حرارتی نظام میں اس درمیانی عمل کی ضرورت ہی نہیں ہے۔ یہ الیکٹرومیگنیٹک شعاعوں کا استعمال کرکے ویفر کی سطح پر براہِ راست حرارت پہنچاتا ہے۔ کوئی انتظار نہیں، کوئی تاخیر نہیں… صرف حرارت۔
یہاں حقیقی فائدہ تو رفتار ہی ہے۔
کنوکشن اوون میں، آپ ہوا کی حرارتی خصوصیات سے لڑ رہے ہیں… یہ بہت سست ہے، حرارت پیدا کرنے میں بہت وقت لگتا ہے، اور ٹھنڈا ہونے میں بھی بہت وقت لگتا ہے۔ دوسری جانب، IR لیمپ فوراً ہی حرارت پہنچاتے ہیں۔
ہم یہاں سیکنڈوں میں ہی مطلوبہ درجہ حرارت حاصل کرنے کی بات کر رہے ہیں، منٹوں میں نہیں۔ جب اسے ہر بیچ پر لاگو کیا جائے، تو بچنے والا وقت بہت زیادہ ہوتا ہے۔
لیکن یہاں ایک پیچیدگی ہے… فاصلہ۔
IR ایمیٹر اور ویفر کے درمیان مناسب فاصلہ رکھنا بہت ضروری ہے… اگر لیمپوں کو بہت قریب رکھا جائے، تو ویفر کے کنارے جل جاتے ہیں… اگر بہت دور رکھا جائے، تو حرارت فوراً پہنچنے کی صلاحیت ختم ہو جاتی ہے۔
میں عموماً ویولینتھ کو دیکھنے کی سفارش کرتا ہوں… شارٹ ویو لہریں مواد کے اندر گہرائی تک جاتی ہیں، جبکہ میڈیم ویو لہریں سطح کو گرم کرنے کے لئے بہترین ہیں۔
لیکن یہ سب کچھ جادو نہیں ہے… IR حرارت بہت شدید ہوتی ہے۔
فورسڈ ایر سسٹم کے برعکس، IR حرارت یکساں نہیں ہوتی… اگر ویفر میں مختلف مواد یا مختلف موٹائیاں ہوں، تو درجہ حرارت میں تغیرات ہوں گے۔
چیزوں کو قابو میں رکھنے کے لئے، PID کنٹرولر اور تیز ردِعمل والے تھرموکپلز کی ضرورت ہے… بغیر ان کے، درجہ حرارت بہت زیادہ ہو سکتا ہے… اور ایک اور بات… یقین کریں کہ آپ کا کولنگ سسٹم تیزی سے حرارت کو کم کرنے کے قابل ہے، ورنہ پورا چیمبر گرم ہو جائے گا۔