Trên sàn sản xuất, một biến động 0,3°C trong nhiệt độ nung đủ để làm lệch kiểm soát kích thước quan trọng và phải loại bỏ nhiều sản phẩm. Khi bạn vận hành soft bake và hard bake, không phải là hy vọng mà là khả năng lặp lại. Đó là lý do chúng tôi thiết kế bóng đèn hồng ngoại với phản xạ vàng để phù hợp với thực tế của quy trình.
Điều quan trọng bên trong
Nguồn phát là bộ phát hồng ngoại sóng ngắn trong quartz, kết hợp với tấm phản xạ mạ vàng giữ năng lượng tập trung và giảm tán xạ. Trên bề mặt đĩa nung, chúng tôi nhắm mục tiêu độ đồng đều nhiệt độ ở mức wafer ±0,1°C, và độ ổn định điểm đặt duy trì trong ±0,5°C khi có tải. Thay đổi bước nhiệt ổn định trong thời gian dưới 2 giây, đảm bảo công thức chạy đúng theo yêu cầu. Công suất phát duy trì ổn định trên 5.000+ giờ, với suy giảm lumen và nhiệt độ dưới 5%. Vỏ bóng phù hợp với các bộ đèn tiêu chuẩn, và bộ đầu cắm tương thích với dây điện của các thiết bị phổ biến.
Lý do duy trì ổn định trong sản xuất
Trong các đường chạy lithography, bóng đèn giữ hồ sơ lớp photoresist chính xác, từ đó cải thiện tính đồng đều CD và giảm thiểu việc làm lại. Trong đóng gói, nó cung cấp quy trình đóng rắn có kiểm soát với sơ đồ nhiệt rõ ràng không làm bay hơi các chất underfill. Tấm phản xạ vàng giữ nhiệt không lan ra môi trường xung quanh, giúp các thiết bị quang học và cảm biến liền kề vẫn hoạt động trong giới hạn nhiệt cho phép.
Phòng sạch cấp Class 1–100 được hỗ trợ bởi vật liệu ít phát tán khí và thiết kế không sinh ra bụi. Tiêu thụ năng lượng giảm do nhiệt được truyền đúng nơi cần, thay vì lan tỏa nhiệt không cần thiết bên trong buồng.
Điều cần lưu ý khi lắp đặt
Chú ý đến cực tính và căn chỉnh phản xạ — lệch sẽ gây ra điểm nóng và biến động nhiệt. Bóng đèn hoạt động ở nhiệt độ cao, vì vậy đảm bảo thiết bị lắp đặt chịu được tải nhiệt và kiểm tra hệ thống làm mát trước khi phê duyệt quy trình. Lên lịch thay thế theo các chu kỳ bảo trì dự phòng để tránh gây gián đoạn sản xuất không dự kiến.