Hãy ngừng chờ đợi phương pháp sử dụng không khí nóng để làm nóng vật liệu trong quy trình chế tạo bán dẫn đi. Trong thời gian dài, người ta vẫn sử dụng phương pháp này: làm nóng một lượng lớn không khí, sau đó dùng áp lực để đẩy luồng không khí này vào bề mặt vật liệu cần xử lý, hy vọng rằng năng lượng từ luồng không khí này sẽ truyền vào vật liệu đó.
Vấn đề là phương pháp này rất chậm. Hiện tượng trì hoãn do sự truyền nhiệt chậm khiến hiệu suất công việc giảm sút.
Chúng tôi đã tìm ra phương pháp tốt hơn: sử dụng đèn hồng ngoại không chứa ozone để truyền năng lượng trực tiếp vào vật liệu, mà không cần qua không khí.
Năng lượng được truyền trực tiếp, không cần trung gian.
Hãy tưởng tượng như thế này: thay vì chờ chiếc quạt thổi không khí nóng lên bề mặt vật liệu, đèn hồng ngoại sẽ truyền bức xạ điện từ trực tiếp vào vật liệu. Việc này diễn ra ngay lập tức.
Thời gian cần thiết để làm nóng vật liệu giảm từ vài phút xuống chỉ vài giây thôi. Khi xử lý 10.000 tấm wafer, việc tiết kiệm được 30 giây cho mỗi chu kỳ không phải là con số nhỏ chút nào – đó là một sự cải thiện lớn về hiệu suất công việc.
Nhưng còn vấn đề về ozone thì sao?
Đặc điểm của các đèn hồng ngoại thông thường là chúng thường tạo ra ozone do bức xạ UV mà chúng phát ra. Trong môi trường sạch, ozone là một thảm họa – nó có thể phá hủy các bề mặt và các lớp hữu cơ nhạy cảm.
Để khắc phục vấn đề này, các đèn của chúng tôi sử dụng công nghệ lọc bằng thủy tinh thạch anh và hóa chất đặc biệt để ngăn chặn bức xạ UV. Bạn vẫn nhận được nhiệt lượng cần thiết, nhưng không còn phải lo lắng về tác động của ozone nữa.
Những điểm cần lưu ý
Tôi sẽ không nói rằng đây là giải pháp “dễ sử dụng”, bởi vì thực tế không phải vậy.
Ánh sáng hồng ngoại có tính hướng. Nếu các bộ phận cần xử lý có hình dạng kỳ lạ hoặc có những chỗ khuất, thì sẽ có những điểm mà ánh sáng không thể chiếu tới. Bạn cần dành thời gian để thiết kế hệ thống đèn và bộ phản xạ sao cho ánh sáng có thể chiếu đều lên toàn bộ bề mặt vật liệu.
Và cần lưu ý về mức độ tiêu thụ điện năng: những đèn này tiêu thụ rất nhiều điện năng. Hãy đảm bảo rằng hệ thống dây dẫn của bạn có thể chịu đựng được áp lực điện năng cao này, nếu không bạn sẽ phải mất thời gian để khắc phục sự cố.
Tuy nhiên, nếu bạn muốn đạt được độ chính xác cao và tốc độ xử lý nhanh, thì đây chính là giải pháp tốt nhất. Bạn sẽ nhận được hiệu quả làm nóng tốt hơn và tốc độ xử lý nhanh hơn. Đó là điều hợp lý thôi.