用于光刻机的石英玻璃护罩

在光刻生产线中，如果光敏剂烘烤过程中的温度波动仅为0.5°C，就可能导致线宽超出标准范围，这样的晶圆在检测时会被标记为不合格品。为此，我们为生产用的灯管设计了石英玻璃防护罩，以从源头阻止这种温度波动。 关键点在于材料的选择 我们选用了熔融石英作为材料，因为其在短波和中等波长红外光区域具有稳定的透光...