用于半导体加热器的热电偶

防止加热室变成“烤箱” 如果你曾经制造过半导体加热室，那么你一定知道其中存在的难题。其实，让晶圆达到所需温度并不是什么难事——那只是最简单的一部分。真正的麻烦在于，当设备内壁变得过于高温时，就有可能伤害人体。 大多数普通的加热元件会将热量向各个方向散射，这不仅效率低下，而且还会让昂贵设备的内部表面...