用于晶圆炉的SK15红外线灯

在光刻工艺中，哪怕温度波动仅为2摄氏度，都可能影响光刻胶的均匀性，从而导致晶圆需要重新加工。因此，需要确保热量始终维持在规定的范围内，这样才能保证每一批晶圆的质量。SK15红外灯正是为满足这一需求而设计的。 其核心优势在于： SK15采用短波红外光源，能够将能量直接传递到光刻胶和晶圆上。其响应速度...