石英舟加热灯制造

在24/7的晶圆厂车间，不可能忽视0.5度的偏移。软烘或硬烘温度偏差0.5°C会导致尺寸偏差，影响附着力，造成大量晶圆报废。石英舟加热灯不是附加设备，而是光刻和光阻处理的热锚点。 核心要点 我们基于短波或中波红外设计这些灯，调谐至石英的吸收峰，以便舟和晶圆堆叠直接快速加热。舟体温度均匀性维持在...