晶圆工具的温度传感器

在线上，晶圆放置在卤素灯下，等待那次软烘烤以固定光刻胶轮廓。烘烤温度窗口内2°C的偏差可能导致关键尺寸变化几纳米，而批次则带着只有显影后才显现的缺陷离开涂布机。设备不会提前警告你，它只输出一个热结果，后续工艺承担后果。 我们为晶圆设备制造温度传感器，因为光刻中的热预算不可选——它决定产率与报废的界...