Hören Sie auf, auf „heiße Luft“ zu warten – nutzen Sie stattdessen ozonfreies Infrarotlicht.
Lange Zeit war die Verwendung von Luft zum Erwärmen der Wafer die übliche Methode im Halbleiterbereich. Dabei wurde eine große Menge Luft erhitzt und dann über die Wafer geleitet – in der Hoffnung, dass so genügend Energie an die Wafer weitergegeben wird.
Das Problem: Es ist sehr langsam. Es gibt einen störenden thermischen Verzögerungseffekt, der Zeit kostet und die Effizienz verringert.
Wir haben eine bessere Lösung gefunden: Wir verwenden ozonfreie Infrarotlampen – dadurch entfällt die Notwendigkeit, Luft zu verwenden. Direkte Energieübertragung – kein Zwischenhändler nötig.
Stellen Sie sich das so vor: Anstatt darauf zu warten, dass ein Ventilator heiße Luft über die Oberfläche bläst, senden die Infrarotlampen elektromagnetische Strahlung direkt in das Substrat. Das geschieht sofort.
Die Zeit bis zur vollständigen Erwärmung der Wafer verringert sich von Minuten auf Sekunden. Wenn man 10.000 Wafer verarbeitet, bedeutet eine Ersparnis von nur 30 Sekunden pro Cycle einen enormen Vorteil für die Effizienz.
Aber was ist mit dem Ozon?
Das Problem mit herkömmlichen Kurzwellen-Infrarotlampen ist, dass sie aufgrund des ausgestrahlten UV-Lichts oft Ozon erzeugen. In einem Reinraum ist Ozon ein Albtraum – es zerstört Oberflächen und empfindliche organische Schichten.
Um dieses Problem zu lösen, verwenden unsere Lampen spezielles Quarzfilter sowie modifizierte Filamente, um diese UV-Wellenlängen zu blockieren. So erhalten Sie die ganze Wärme – ohne chemische Nebenwirkungen.
Ehrliche Kompromisse
Ich werde Ihnen nicht weismachen, dass es sich um eine „Plug-and-Play“-Lösung handelt – das ist es nämlich nicht. Infrarotlicht hat eine Richtung. Wenn Ihre Bauteile unregelmäßige Formen oder tiefe Ecken haben, werden es „kalte Stellen“ geben, an die das Licht nicht gelangt. Sie müssen also Zeit investieren, um die Anordnung der Lampen und Reflektoren so zu gestalten, dass alles gleichmäßig erwärmt wird.
Außerdem sollten Sie beachten, dass diese Lampen viel Strom verbrauchen. Stellen Sie sicher, dass Ihre Elektroinstallation den Anfangsschub bewältigen kann – sonst müssen Sie den ganzen Nachmittag damit verbringen, die Sicherungen wieder einzuschalten.
Trotzdem ist dies die beste Lösung, wenn Sie hohe Präzision und Geschwindigkeit anstreben. So entsteht weniger Wärme, und die Prozesse gehen viel schneller vonstatten. Es macht einfach Sinn.