در فرآیند لیتوگرافی، مراحل پختن نرم و سخت، صرفاً مراحلی ساده نیستند؛ بلکه تعهداتی هستند که باید به آنها پایبند باشیم. تغییر ۲ درجه سانتیگراد در دمای فوتورزیست، میتواند ابعاد حیاتی قطعات را تغییر دهد. حتی یک ذره کوچک در حین گرم شدن، میتواند باعث خرابی ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری شود. ما آرایههای گرمایشی ماژولار مادونقرمز را طوری طراحی کردهایم که با این واقعیت سازگار باشد.
آنچه از نظر فنی اهمیت دارد: ما از منابع تابش مادونقرمز در قالب آرایههای ماژولار استفاده میکنیم؛ بنابراین چگالی انرژی در هر ناحیه کنترل میشود، نه اینکه به طور متوسط در سطح کل صفحه گرم شود. نتیجه آن، یکنواختی دمایی در سطح ویفر در حد ±۰.۱ درجه سانتیگراد است؛ این موضوع با استفاده از ترموکوپلها و سنسورهای تصحیحشده برای اندازهگیری انتشار گرما، بررسی میشود.
واکنش سیستم در کمتر از یک ثانیه اتفاق میافتد؛ بنابراین هنگام تغییر روشهای فرآیند، هیچ اختلال حرارتی رخ نمیدهد. سختافزار این سیستم، مناسب برای استفاده در محیطهای پاک است؛ زیرا دارای بدنه بسته، مواد کمگاززا و بدون فیلامنتهای در معرض دید است. تولید ذرات نیز کم است، و قابلیت تکرارپذیری فرآیند، از طریق کنترل حلقه بسته و هندسه ثابت منابع تابش، تضمین میشود.
چرا این روش در خط تولید مؤثر است: فرآیند پختن فوتورزیست، جایی است که دقت دما و تمیزی محیط، بر کیفیت محصول تأثیر میگذارد. برای رسیدن به اهداف مورد نظر، به دقت دما نیاز داریم؛ همچنین برای کنترل تعداد نقصها، به تمیزی محیط نیاز داریم. آرایههای ماژولار ما، هر دوی این موارد را فراهم میکنند.
تنظیم سریع دما، زمان تغییر روشهای فرآیند را کاهش میدهد و استабیلی خط تولید را حفظ میکند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا مادونقرمز، ویفر را مستقیماً گرم میکند، نه قسمتهای اطراف آن. قابلیت اطمینان این سیستم، برای کار ۲۴/۷ مناسب است؛ همچنین طراحی ماژولار، امکان تعویض قطعات را فراهم میکند، بدون اینکه توقفات غیرمنتظره، بر برنامههای تولید تأثیر بگذارد.
جزئیات عملی: این آرایهها، از طریق رابطهای مکانیکی و الکتریکی استاندارد، با سیستمهای موجود ادغام میشوند. با این حال، باید تنظیمات مربوط به هماهنگی و انتشار گرما را برای هر نوع فوتورزیست و اندازه ویفر، انجام داد. انتظار میرود زمان تنظیمات اولیه، کوتاه باشد؛ پس از آن، فرآیند به طور منظم انجام خواهد شد، بدون هیچ اختلالی.