در فرآیند لیتوگرافی، میدانید که حتی تغییر جزئی در دمای پخت، مثلاً ۲ درجه سانتیگراد، میتواند باعث اختلال در یکنواختی سطح روی ویفرها شود و مجبور کند آنها دوباره پردازش شوند. بنابراین، نیاز به گرمایی وجود دارد که در طول تمام چرخههای پردازش، در محدوده مشخصی باقی بماند. لامپ مادون قرمز SK15، دقیقاً برای همین منظور طراحی شده است.
چه چیزهایی اهمیت دارند؟
SK15 از یک ساطعکننده مادون قرمز با امواج کوتاه استفاده میکند؛ این ساطعکننده برای انتقال انرژی مستقیم به رزیست و ویفرها طراحی شده است. پاسخ این لامپ در میلیثانیهها اتفاق میافتد؛ بنابراین، فر با سرعت به دمای مورد نظر میرسد و در طول تمام چرخههای پردازش، دمای آن در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد باقی میماند. سازگاری این لامپ با محیطهای پاک نیز مهم است؛ مواد مورد استفاده مطابق با استانداردهای کلاس ۱ تا ۱۰۰ هستند، هیچ ذرهای در دماهای کاری تولید نمیشود، و قابلیت تکرار عملکرد این لامپ بیش از ۵۰۰۰ ساعت است، با کمتر از ۵٪ تغییر در شدت نور. تراکم انرژی این لامپ نیز متناسب با نیازهای فر پخت ویفرها است؛ همچنین، این لامپ میتواند در قابهای استاندارد نصب شود.
چرا این لامپ در فرآیندهای پردازش ویفرها عملکرد خوبی دارد؟
خشک کردن ویفرها، پخت رزیست، و سایر فرآیندهای مربوطه، همگی فرآیندهایی حساس به دما هستند. تابش یکنواخت این لامپ، باعث کاهش تفاوت دمای لبهها و مرکز ویفرها میشود؛ این امر به افزایش بازدهی در فرآیندهای پردازش کمک میکند. زمان لازم برای رسیدن به دمای مورد نظر کوتاهتر میشود، بدون اینکه کنترل بر روی فرآیند کاهش یابد. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا انرژی به جای گرم کردن کل محفظه، مستقیماً به رزیست و ویفرها منتقل میشود. در نتیجه، کنترل دقیقتری بر روی ابعاد ویفرها امکانپذیر میشود، تعداد محصولات با کیفیت پایین کاهش مییابد، و میتوان فواصل تعمیرات را به خوبی برنامهریزی کرد.
نکاتی که باید در نظر گرفت:
SK15 نیاز به یک بازتابنده مناسب و ولتاژ تأمینی تمیز و خشک دارد. اگر جریان هوا در فر یا سیستم بازخورد دما به درستی تنظیم نشود، میتواند منجر به افزایش بیش از حد دما شود. لازم است در اولین فرصت برای تعمیرات پیشگیرانه، این لامپ را کالیبره کنید؛ همچنین، باید مطمئن شوید که کنترلر فر قادر به مدیریت ویژگیهای این لامپ باشد. وقتی که این موارد رعایت شوند، این لامپ به طور یکنواخت عمل خواهد کرد.