در سطح صفحات سنگی، حتی یک قدم خیس نیز میتواند باعث اختلال در کیفیت محصول شود. بلافاصله پس از تمیزکاری، ردپاهای آب و رطوبت باقیمانده، فقط از نظر ظاهری مشکلساز نیستند؛ بلکه باعث ایجاد ذرات در سطح صفحه شده و به همین دلیل چسبندگی ماده حساس به نور نیز نامتوازن میشود. استفاده از روش خشک کردن تماسی، خطر ایجاد خراشها و انتقال ذرات را به همراه دارد. پیامدهای این امر، تولید ویفرهای با کیفیت پایین و تغییرات در ابعاد مهم ویفرها است.
چه چیزی اهمیت دارد؟ ما دستگاه خشککن ویفر بدون تماس را بر اساس منبع مادون قرمز کوتاهامواج ساختهایم. این دستگاه به سرعت و به طور یکنواخت سطح ویفر را گرم میکند؛ بنابراین سطح ویفر دستنخورده باقی میماند. معیار مهمی که باید در نظر گرفت، یکنواختی دمایی است: ±۰.۱ درجه سانتیگراد در سراسر سطح ویفر. این مقدار با استفاده از سیستم کنترل چرخهبسته و فیلترهای مخصوص، حاصل میشود. این دستگاه با استانداردهای اتاقهای تمیز درجه ۱ سازگار است؛ همچنین در بخش خشککردن، هیچ قطعه متحرکی وجود ندارد و مسیر تخلیه گاز نیز دارای فیلترهایی است که تعداد ذرات را در سطح پایین نگه میدارد. تکرارپذیری عملیات خشککردن، در محدوده ۰.۲ درجه سانتیگراد است؛ این امر به کنترل ابعاد ویفر کمک میکند.
دلیلی که این دستگاه در کارخانههای تولیدی با تنوع زیاد مفید است، این است که عملکرد آن در ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری و ۲۰۰ میلیمتری، و همچنین در لایههای اکسید، نیترید و فلز، یکسان است. عملکرد بدون تماس، خراشهای ناشی از تماس را از بین میبرد و از فرسودگی قطعات مختلف جلوگیری میکند. پاسخ سریع دستگاه به تغییرات دما، زمان خشککردن را کوتاه میکند؛ بنابراین میتوانید با حفظ بودجه انرژی، بهرهوری بیشتری داشته باشید. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد، زیرا لامپ فقط سطح ویفر را گرم میکند و سایر قسمتها را تحت تأثیر قرار نمیدهد. نتیجه این امر، کاهش نقصها در مرحله بازرسی، کنترل بهتر فرآیندها و برنامههای قابل اعتماد است.
چند نکته عملی: لامپ نیاز به منبع تغذیه تمیز و فیلترشده، و همچنین آب سرد با قابلیت هدایت الکتریکی مناسب دارد تا دمای سطح نوری ثابت بماند. این دستگاه میتواند به راحتی در اکثر دستگاههای تمیزکاری نصب شود؛ اما مسیر نوری باید در فاصله ۰.۵ میلیمتری تنظیم شود تا یکنواختی حفظ شود. قبل از استفاده، بهتر است یک آزمایش سریع انجام دهید تا لایههای موجود روی ویفر را شناسایی کرده و پروفایل خشککردن را با استانداردهای مربوطه مقایسه کنید.