Hentikanlah kegagalan lampu yang merusak batch wafer Anda.
Inilah skenario buruk yang mungkin terjadi: Anda sedang menggunakan lampu IR berdaya tinggi untuk proses pengeringan, dan tiba-tiba tabung kuarsa tersebut pecah. Ini bukan sekadar gangguan sementara saja. Serpihan kaca dan filamen tungsten akan jatuh langsung ke atas wafer Anda. Dalam sekejap saja, seluruh batch wafer Anda menjadi tidak berguna.
Situasi ini sangat merepotkan. Namun, hal ini sebenarnya dapat dihindari.
Kami mengatasinya dengan menambahkan perlindungan berupa reflektor khusus. Anggaplah ini sebagai “perisai” yang melindungi wafer dari serpihan yang keluar dari lampu.
Cara kerjanya:
Kebanyakan orang mengira bahwa reflektor hanya berfungsi untuk memantulkan radiasi IR kembali ke substrat. Memang benar, tapi kami merancang reflektor ini agar bisa melindungi lampu secara utuh. Jika tabung lampu pecah, reflektor akan menangkap serpihan-serpihan tersebut, sehingga partikel-partikel tersebut tidak masuk ke dalam ruang proses. Dengan begitu, tidak akan ada kerusakan pada wafer Anda.
Panas yang lebih baik, stres yang lebih rendah:
Kami menggunakan aluminium berkualitas tinggi dengan lapisan khusus untuk memantulkan sinar IR. Yang menarik adalah, hal ini meningkatkan intensitas panas di permukaan wafer. Karena panasnya lebih terfokus, maka Anda bisa menurunkan daya lampu, namun hasil pengeringannya tetap sama. Dengan demikian, tekanan pada tabung kuarsa pun berkurang, sehingga kemungkinan tabung tersebut pecah pun berkurang.
Kompromi yang harus diterima:
Tidak ada yang sempurna. Penambahan lapisan pelindung antara sumber cahaya dan wafer tentu akan mengubah pola radiasi sedikit dibandingkan dengan lampu biasa. Anda perlu meluangkan waktu untuk menyetel jarak fokus agar pemanasan berlangsung secara merata di seluruh permukaan wafer. Selain itu, pastikan kipas pendingin memiliki kapasitas yang cukup untuk menyeimbangkan suhu di dalam perlindungan tersebut. Jika tidak, panas akan tertahan di dalamnya, sehingga akibatnya lampu akan cepat rusak.
Namun, setelah semuanya disetel dengan baik, semuanya akan menjadi mudah. Kami membuat alat ini untuk digunakan dalam proses produksi 24/7. Anda hanya perlu menghubungkannya ke sistem kontrol PID, dan biarkan reflektor yang menangani risiko tersebut. Dengan begitu, kegagalan fatal bisa dihindari, dan proses penggantian lampu pun menjadi lebih mudah.