팹 램프용 석영 유리 쉴드

리소그래피 라인에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 램프의 온도가 단 0.5°C만 변동해도 회로선의 굵기가 규격에서 벗어날 수 있습니다. 그렇게 되면 해당 웨이퍼들은 검사 과정에서 문제 있는 것으로 분류됩니다. 우리는 이러한 온도 변동을 막기 위해 램프 주위에 석...