반도체 오븐 가열 요소
네온 사인의 경우, 열 드리프트 현상은 나타나지 않습니다. 하지만 다른 장비들에서는 열 드리프트가 조용히 선의 너비를 제어하는 능력을 약화시키고, 제품의 품질을 저하시킵니다. 그 결과, 안정적으로 처리되어야 할 공정도 예측할 수 없는 상황이 됩니다. 리소그래피 및 포...
웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프
리소그래피 공정에서는, 단 2°C만큼의 온도 변화라도 CD의 균일성에 영향을 줄 수 있으며, 그로 인해 웨이퍼가 재가공되어야 합니다. 따라서 공정이 진행될 동안 일정한 온도가 유지되어야 합니다. 웨이퍼 오븐용 SK15 적외선 램프는 바로 이러한 목적을 위해 설계된 것...