비접촉식 웨이퍼 건조 램프

세라믹 표면 위에서는 단 한 번의 물기 남은 발걸음만으로도 제품의 품질이 좌우될 수 있습니다. 세척 직후에 생기는 물자국과 잔여 수분은 단순히 외관상의 문제가 아닙니다. 이러한 요소들은 입자가 생기게 하고, 포토레지스트가 고르게 부착되지 못하게 합니다. 기존의 접촉식...